API激光干涉儀產(chǎn)品參數(shù)

API激光干涉儀產(chǎn)品參數(shù)

API激光干涉儀XD Laser的技術(shù)參數(shù)：

1．1D激光主要可以測(cè)量定位誤差

2．3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）

3．5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 

4．5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型技術(shù)參數(shù)：

1) 線性：0.5ppm .

2) 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）

3) 線性分辨力：0.001um.

4) 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

5) 范圍：800角秒

6) 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

7) 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

8) 直線度范圍：500um

9) 垂直度精度：1角秒

10) 溫度精度：0.2攝氏度

11) 濕度精度：5%

12) 壓力精度：1mmHg